The structural-phase composition of the magnetron-sputtered Al-Si-N-O-based coatings

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Physical Mesomechanics - Materials with Multilevel Hierarchical Structure and Intelligent Manufacturing Technology (2020 : Tomsk) Proceedings of the International Conference on Physical Mesomechanics. Materials with Multilevel Hierarchical Structure and Intelligent Manufacturing Technology ; A
1. Verfasser:	Dorofeeva, I. I. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gubaidulina, T. A. (VerfasserIn), Sergeev, V. P. (VerfasserIn), Kalashnikov, M. P. (VerfasserIn), Voronov, A. V. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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