DETC2020-22229 Bio-MEMS Circular Plate Sensors Under Electrostatic Hard Excitations: Frequency Response of Superharmonic Resonance of Fourth Order
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| Veröffentlicht in: | ASME International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference (2020 : Online) Proceedings of the ASME International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference - 2020 ; Volume 1: 14th Intenational Conference on Micro- and Nanosystems (MNS 2020) |
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| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
2020
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