DETC2020-22229 Bio-MEMS Circular Plate Sensors Under Electrostatic Hard Excitations: Frequency Response of Superharmonic Resonance of Fourth Order

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference (2020 : Online) Proceedings of the ASME International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference - 2020 ; Volume 1: 14th Intenational Conference on Micro- and Nanosystems (MNS 2020)
1. Verfasser:	Beatriz, Julio (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Caruntu, Dumitru I. (VerfasserIn)
Pages:	2020
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!