Photo-Microlithography Fabrication of the Parts of a Micro-Mechanical Calculator

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	MEMO workshop (2019 : Brüssel) Building and probing small for mechanics
1. Verfasser:	Bourgerette, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Noé, Laure (VerfasserIn), Pinaud, Sebastien (VerfasserIn), Joachim, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
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