Controllable Optical Characteristics of TiN Films Prepared by Magnetron Sputtering

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Optoelectronics and Measurement (2. : 2019 : Hangzhou) Proceedings of 2019 International Conference on Optoelectronics and Measurement
1. Verfasser:	Xu, Kai (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Meng, Yan-Long (VerfasserIn), Liu, Si-Meng (VerfasserIn), Tan, Jun (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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