The Effect of Grown-in Defects in CZ-Si Crystals on Gate Oxide Integrity

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (44. : 1993 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 44kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Sadamitsu, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sano, M. (VerfasserIn), Sumita, S. (VerfasserIn), Shigematsu, T. (VerfasserIn)
Pages:	44
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1993
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