Structural Studies of TEOS-based Plasma CVD SiO Films using Fourier Transform Infrared and Thermal Desorption Spectroscopies

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Veröffentlicht in:Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu
1. Verfasser: Tokitoh, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Uchida, H. (VerfasserIn), Hirashita, N. (VerfasserIn)
Pages:42
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1991
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