Preparation of Si-O-B-N Quaternary Film using ECR Plasma CVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Maeda, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Arita, Y. (VerfasserIn)
Pages:	42
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1991
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Beschreibung
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