High Dielectric Constant (Ba, Sr)TiOs Thin Films for DRAM Application

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Veröffentlicht in:Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu
1. Verfasser: Miyasaka, Y. (VerfasserIn)
Pages:43
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1992
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