Aluminum Etch Characteristices Using Chlorine and Bromine Based Chemistries with Transformer Coupled Plasma System

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Kaiser, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Ching-Hwa (VerfasserIn)
Pages:	43
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
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