Trench Isolation Technology by Chemical-Mechanical Polishing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (43. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 43kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Katakabe, I. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Miyasita, N. (VerfasserIn), Oohasi, H. (VerfasserIn), Kumamaru, K. (VerfasserIn)
Pages:	43
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
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