Intermetal Dielectric Planarization Technology in Submicron Devices with Spin-on-glass

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (38. : 1990 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 38kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Saito, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Okazaki, S. (VerfasserIn), Nishizawa, K. (VerfasserIn), Sakiyama, K. (VerfasserIn)
Pages:	38
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1990
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