SUBMICRON - DIAMETER VIA -HOLE FILLING BY A PLUG OF ALUMINUM

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (32. : 1987 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 32kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Mukai, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Takei, M. (VerfasserIn), Kobayashi, K. (VerfasserIn), Nakano, M. (VerfasserIn)
Pages:	32
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1987
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