A Multilevel Interconnection with Plasma CVD Silicon Oxide/Bias Sputtered Quartz Stacked Interlayer Dielectrics

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (37. : 1989 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 37kai Shinpojiumu
1. Verfasser:	Mase, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Katsura, T. (VerfasserIn), Abe, M. (VerfasserIn), Aoyama, M. (VerfasserIn), Koguchi, S. (VerfasserIn)
Pages:	37
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1989
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!