ECSEL-Projekt "Technology advances for pilot line of enhanced semiconductor for 3nm" (TAPES3) Schlussbericht zum Vorhaben : Teilvorhaben: EUV-Prüfoptiken und Masken für die 3nm Auflösung : Laufzeit: 01.10.2018-31.01.2022
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
ims chips
25.07.2022
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16ESE0289 Verbundnummer 01182862 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
|---|---|
| Beschreibung: | 40 Seiten Illustrationen, Diagramme |