ECSEL-Projekt "Technology advances for pilot line of enhanced semiconductor for 3nm" (TAPES3) Schlussbericht zum Vorhaben : Teilvorhaben: EUV-Prüfoptiken und Masken für die 3nm Auflösung : Laufzeit: 01.10.2018-31.01.2022

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Naasz, Sandra (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart ims chips 25.07.2022
Schlagworte:	Forschungsbericht
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