THE VARIOUS MEMS METHODS TO BUILD TFTC SENSORS FOR RELATED AERO-/ASTRO- APPLICATIONS

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	AIAA SciTech Forum and Exposition (2021 : Online) Structures ; Volume 2 of 2
1. Verfasser:	Duan, Franklin L. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Liu, Siging (VerfasserIn), Xie, Ziyi (VerfasserIn), Ji, Zhonglin (VerfasserIn), Weng, Haotian (VerfasserIn), Hu, Mingkai (VerfasserIn), Gao, Junchao (VerfasserIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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