Formation of Functional Conductive Carbon Coating on Si by C60 Ion Beam

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies (2020 : Sankt Petersburg) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies
1. Verfasser:	Pukha, Vladimir (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Popova, Julia (VerfasserIn), Khadem, Mahdi (VerfasserIn), Kim, Dae-Eun (VerfasserIn), Khodos, Igor (VerfasserIn), Shakhmin, Alexander (VerfasserIn), Mishin, Maxim (VerfasserIn), Krainov, Kirill (VerfasserIn), Titov, Andrei (VerfasserIn), Karaseov, Platon (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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