Photochemische Abscheidung von Dünnschichtsystemen aus der Gasphase Abschlußbericht ; Projektlaufzeit 1.11.1988 - 31.3.1993
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Frankfurt/M.
Battelle Institut
1993
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Schriftenreihe: | BF
40.043-10 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Förderkennzeichen 0328965 A |
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Beschreibung: | 143 Bl |