Evaluation of Ion Implantation into Silicon by Photoacoustic Spectroscopy using Transparent Transducer Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (8 : 1987 : Tokio) Proceedings of the 8th Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	HATA, Tomonobu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	YAGO, Ken’ichi (VerfasserIn), ADACHI, Sakae (VerfasserIn), HORITA, Susumu (VerfasserIn)
Pages:	8
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1988
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