Analysis of Defect-Free Hot Filament CVD-Grown 3C-SiC

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (18. : 2019 : Kyōto) Silicon carbide and related materials 2019
1. Verfasser: Zeghbroeck, B. Van (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Brow, R. (VerfasserIn), Borsa, T. (VerfasserIn), Bobela, D. (VerfasserIn)
Pages:2019
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2020
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