Fabrication Techniques and Properties of Piezoelectric Thin Films of ZnO and AIN
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Symposium on Ultrasonic Electronics (4 : 1983 : Tokio) Proceedings of the 4th Symposium on Ultrasonic Electronics |
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| 1. Verfasser: | |
| Pages: | 4 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
1984
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| Schlagworte: | |
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