Low-Temperature Processed Metal-Semiconductor Field-Effect Transistor with In- Ga-Zn-O Channel Deposited by Ar+O2+H2 Sputtering

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (15.) Thin Film Transistors 15 (TFT 15)
1. Verfasser:	Magari, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Furuta, M. (VerfasserIn)
Pages:	15
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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