Effect of Water and KOH Aqueous Solution on Micro-slot Grinding of Silicon

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	AIMTDR (28. : 2018 : Chennai) Proceedings of AIMTDR 2018 ; Volume 4: Advances in micro and nano manufacturing and surface engineering
1. Verfasser:	Pratap, Ashwani (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Patra, Karali (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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