ArF Resists Application of Alicyclic Polymers Having Carboxylic Acid Structures Derived from Alternating Copolymers of Non-conjugated Cyclic Diene and Maleic Anhydride

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (53 : 1997 : Tokio) 53. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Hattori, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tsuchiya, Y. (VerfasserIn), Yamanaka, R. (VerfasserIn), Hattori, K. (VerfasserIn), Shiraishi, H. (VerfasserIn)
Pages:	53
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1997
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