Oxynitride Interfance Control in HfO2 MIS Structures for Improvement of FET Performance

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (63 : 2002 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-63.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Ota, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yasuda, N. (VerfasserIn), Yasuda, T. (VerfasserIn), Morita, Y. (VerfasserIn), Miyata, N. (VerfasserIn), Tominaga, K. (VerfasserIn), Kadoshima, M. (VerfasserIn), Migita, S. (VerfasserIn), Nabatame, T. (VerfasserIn), Toriumi, A. (VerfasserIn)
Pages:	63
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2002
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