HfO2 Film Deposition by MOCVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (60 : 2001 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-60.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Hoshino, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Suzuki, T. (VerfasserIn), Machida, H. (VerfasserIn), Ogura, A. (VerfasserIn), Ohshita, Y. (VerfasserIn)
Pages:	60
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:
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