Automatic Control System for the Plasma Processing Unit Multi Plasma Cleaner One

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International Russian Automation Conference (2020 : Sotschi) Advances in Automation II
1. Verfasser:	Ezhova, P. A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Vasilev, D. D. (VerfasserIn), Sidorova, S. V. (VerfasserIn), Moiseev, K. M. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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