SELF ALIGNED CONTACT BY SILICON SELECTIVE EPITAXIAL GROWTH

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (31. : 1986 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 31kai Shinpojiumu
1. Verfasser: Samata, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Shibata, H. (VerfasserIn), Matsuno, T. (VerfasserIn), Sasaki, H. (VerfasserIn), Matsushita, Y. (VerfasserIn), Ohta, T. (VerfasserIn)
Pages:31
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 1986
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