A New Barrier Metal Structure with ALD-TaN for Highly Reliable Cu Dual Damascene Interconnects

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (67 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-67.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Mori, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Maekewa, K. (VerfasserIn), Kbayashi, K. (VerfasserIn)
Pages:	67
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
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