Characterizations of Asing Damage in Porous Low-k Dielectric Films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (67 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-67.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Seki, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shimada, M. (VerfasserIn), Otsuka, Y. (VerfasserIn), Nagai, N. (VerfasserIn), Inukai, K. (VerfasserIn), Hashimoto, H. (VerfasserIn), Ogawa, S. (VerfasserIn)
Pages:	67
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
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