Carbon Nanotube Vias for Future LSI Interconnects

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (67 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-67.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Nihei, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kawabata, A. (VerfasserIn), Sato, S. (VerfasserIn), Kondo, D. (VerfasserIn), Shioya, H. (VerfasserIn), Awano, Y. (VerfasserIn)
Pages:	67
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
Schlagworte:
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