Properties of a Tantalum Nitride Source Ta(N-t-C5H11)[N(CH3)2]3 for MOCVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (66 : 2004 : Tokio) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-66.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Yasuhara, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Okuhara, Y. (VerfasserIn), Kadokura, H. (VerfasserIn)
Pages:	66
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2004
Schlagworte:
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