Integrating Hf-based high-k gate stacks with polysilicon gates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (64 : 2003 : Osaka) Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-64.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Gendt, S. De (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, J. (VerfasserIn), Kaushik, V. (VerfasserIn), Claes, M. (VerfasserIn), Witters, T. (VerfasserIn), Rohr, E. (VerfasserIn), Carter, R. (VerfasserIn), Kubicek, S. (VerfasserIn), Tsai, W. (VerfasserIn), Ragnarsson, L. (VerfasserIn), Conard, T. (VerfasserIn), Pantisano, L. (VerfasserIn), Elshocht, S. Van (VerfasserIn), Delabie, A. (VerfasserIn), Schram, T. (VerfasserIn), Caymax, M. (VerfasserIn), Heyns, M. (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2003
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