Reseach of In-situ Cleaning Gas Chemistry of Hf-base High-k Film

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki-Kairo-Gijutsu-71.-Shinpojiumu-kōen-ronbunshū
1. Verfasser:	Shibata, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Inoue, M. (VerfasserIn), Kunii, Y. (VerfasserIn), Nishitani, E. (VerfasserIn), Miya, H. (VerfasserIn), Ono, K. (VerfasserIn)
Pages:	71
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
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