Characterization of Interface Structure of Metal Gate / High-k Gate Dielectric

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Handōtai, Shuseki Kairo Gijutsu dai 77-kai Shinpojiumu kōen ronbunshū
1. Verfasser:	Yamamoto, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ogawa, S. (VerfasserIn), Hosoi, T. (VerfasserIn), Shimura, T. (VerfasserIn), Watanabe, H. (VerfasserIn)
Pages:	77-
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2013
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Titel	Jahr	Band
Dai 77-kai Handōtai, Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu : Tōkyō, July 11 - 12, 2013	2013