Metal/High-k Gate Stack Technology for Advanced CMOS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Handōtai, Shuseki Kairo Gijutsu 76. Shinpojiumu kōen ronbunshū
1. Verfasser: Nabatame, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Ohi, A. (VerfasserIn), Chikyow, T. (VerfasserIn)
Pages:76
Format: UnknownFormat
Sprache:jpn
Veröffentlicht: 2012
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