Functional Nano Patterns realized by aligned Nano Imprint Lithography

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (8. : 2014 : Wien) Smart Systems Integration 2014
1. Verfasser:	Baum, Mario (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Besser, J. (VerfasserIn), Wiemer, M. (VerfasserIn), Gessner, T. (VerfasserIn), Thanner, C. (VerfasserIn), Kreindl, G. (VerfasserIn), Wimplinger, M. (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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