Barrier properties of plastic films coated with AI203 by roll-to-roll ALD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (8. : 2014 : Wien) Smart Systems Integration 2014
1. Verfasser:	Kostamo, Juhana (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Laine, Risto (VerfasserIn), Kilpi, Väinö (VerfasserIn), Li, Wei-Min (VerfasserIn), Lindfors, Sven (VerfasserIn), Toivola, Minna (VerfasserIn), Hirvikorpi, Terhi (VerfasserIn), Vähä-Nissic, Mika (VerfasserIn), Vartiainenc, Jari (VerfasserIn), Nikkolac, Juha (VerfasserIn), Harlinc, Ali (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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