Integration concepts for fluidic actuators in hybrid structures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (8. : 2014 : Wien) Smart Systems Integration 2014
1. Verfasser:	Schüller, Martin (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lipowski, M. (VerfasserIn), Weigel, P. (VerfasserIn), Otto, T. (VerfasserIn), Geßner, T. (VerfasserIn), Walther, M. (VerfasserIn), Schulze, R. (VerfasserIn), Nestler, J. (VerfasserIn), Kroll, L. (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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