Monolithic integration of temporary bonded thin wafers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (8. : 2014 : Wien) Smart Systems Integration 2014
1. Verfasser:	Uhrmann, Thomas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Burggraf, Jürgen (VerfasserIn), Bravin, Julian (VerfasserIn), Wiesbauer, Harald (VerfasserIn), Dragoi, Viorel (VerfasserIn), Wimplinger, Markus (VerfasserIn), Matthias, Thorsten (VerfasserIn), Lindner, Paul (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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