Surface Sterilization Using Electron Cyclotron Resonance Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International Symposium on Applied Plasma Science (11. : 2017 : Warschau) Conference book of the 11th International Symposium on Applied Plasma Science, September 11-15, 2017, Warsaw, Poland
1. Verfasser:	Nishikawa, Tatsuya (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Abe, Norihito (VerfasserIn), Yonesu, Akira (VerfasserIn), Hayashi, Nobuya (VerfasserIn)
Pages:	11
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2015
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