Hydrogen-Free Fluorinated DLC Films Prepared by Filtered Arc Deposition System

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Symposium on Applied Plasma Science (11. : 2017 : Warschau) Conference book of the 11th International Symposium on Applied Plasma Science, September 11-15, 2017, Warsaw, Poland
1. Verfasser:	Tanimoto, Tsuyoshi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Imai, Takahiro (VerfasserIn), Harigai, Toru (VerfasserIn), Isono, Ryo (VerfasserIn), Iijima, Yushi (VerfasserIn), Suda, Yoshiyuki (VerfasserIn), Takikawa, Hirofumi (VerfasserIn), Kamiya, Masao (VerfasserIn), Taki, Makoto (VerfasserIn), Hasegawa, Yushi (VerfasserIn), Tsuji, Nobuhiro (VerfasserIn), Kaneko, Satoru (VerfasserIn), Kunitsugu, Shinsuke (VerfasserIn), Hasegawa, Mikio Ito i (VerfasserIn), Ito, Mikio (VerfasserIn)
Pages:	11
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2015
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