Polydimethylsiloxane Micro-Channels Application for the Study of Dynamic Wetting of Nano-Etched Silicon Surfaces Based on Acoustic Characterization Method

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (15. : 2021 : Mecheln) Ultra clean processing of semiconductor surfaces XV
1. Verfasser:	Salhab, A. R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Carlier, J. (VerfasserIn), Campistron, P. (VerfasserIn), Neyens, M. (VerfasserIn), Toubal, M. (VerfasserIn), Nongaillard, B. (VerfasserIn), Thomy, V. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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