High-Quality Poly-Si Films Using an Excimer Laser Annealing Method for Thin-Film Transistors

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (46 : 1994 : Tokio) 46. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Sano, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Nouda, T. (VerfasserIn), Aya, Y. (VerfasserIn), Kuwahara, T. (VerfasserIn), Kuriyama, H. (VerfasserIn), Wakisaka, K. (VerfasserIn), Kiyama, S. (VerfasserIn), Tsuda, S. (VerfasserIn)
Pages:	46
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1994
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