Multilayer PECVD Si–C–N Films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Nanomaterials: Applications and Properties (9. : 2019 : Odessa) Microstructure and properties of micro- and nanoscale materials, films, and coatings (NAP 2019)
1. Verfasser:	Kozak, A. O. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ivashchenko, V. I. (VerfasserIn), Porada, O. K. (VerfasserIn), Ivashchenko, L. A. (VerfasserIn), Sytikov, O. O. (VerfasserIn), Manzhara, V. S. (VerfasserIn), Tomila, T. V. (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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