Mechanism and Reduction of Interlayer Peeling Defect in IGZO TFTs Formation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Green Composite Materials and Nanotechnology (3. : 2019 : Shenzhen) Green composite materials, polymers and nanotechnology
1. Verfasser:	Wan, G. M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ge, S. M. (VerfasserIn), Gong, C. (VerfasserIn), Li, S. (VerfasserIn), Lin, X. N. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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