NOVEL MICROFABRICATION TECHNIQUE OF 3D SILICONE STRUCTURES FROM PLANAR SUBSTRATE BY TENSILE BUCKLING

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (21. : 2017 : Savannah, Ga.) 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017) ; Volume 3 of 3
1. Verfasser:	Arambel, P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Riek, M. (VerfasserIn), Taylor, R. E. (VerfasserIn)
Pages:	21
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
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