MEMS Acoustical Actuators: Principles, Challenges and Perspectives

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	MAMM (5. : 2020 : Ilmenau) Microactuators, microsensors and micromechanisms
1. Verfasser:	Fritsch, Tobias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Beer, Daniel (VerfasserIn), Küller, Jan (VerfasserIn), Fischer, Georg (VerfasserIn), Zhykhar, Albert (VerfasserIn), Fiedler, Matthias (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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