Ätzen rauer Siliciumoberflächen Beiträge zum sauren Ätzen von multikristallinen Siliciumwafern für die Solarzellenproduktion

Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2021

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Meinel, Birgit (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Bergakademie Freiberg (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Kroke, Edwin (AkademischeR BetreuerIn), Acker, Jörg (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg 2021
Schlagworte:	Hochschulschrift > Solarzelle > Silicium > Wafer > Textur > Ätzen
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